マイクレル社、 米国カリフォルニア州サンノゼ工場のMEMS生産体制を発表。

　米アナログ、高帯域通信、イーサネットICソリューションの業界のリーダーである米国マイクレル・セミコンダクタ社は、米国カリフォルニア州サンノゼのウエハーおよび半導体製造施設で、MEMS (MicroElectroMechanical Systems)製造を開始したことを、本日発表した。 同社は、大手MEMSメーカーと協業して製造を開始し、既存の半導体生産能力の大きな部分をこれに当て、他のいくつかのスタートアップ事業に向けて、MEMS製造工程の開発を行う予定。マイクレル社は、米国でMEMS生産体制を提供する数少ない6インチファブのひとつである。

　生産数量拡大のため、マイクレル社では、数百万ドルの資本投入、3D FTBA (front-to-back alignment)対応体制の開始、最先端DRIEエッチマシンの購入などをコミットしている。このシステムは、非常に深いトレンチやSiを通したビア(TSV)の形成の他、今日の先進MEMS製品に必要な非常に大きな空洞の形成などの正確なエッチングを行う。

「弊社の半導体工場で、MEMSサービスを提供できることをたいへん光栄に感じている。」と、マイクレル社ワールドワイド製造管理および半導体製造事業部担当部長のGuy Gandenberger氏は述べた。「第一次フェーズのMEMS顧客向けの本格生産のマイルストーンは、すでに成功裏に達成している。さらに、他のMEMS顧客向けに追加生産能力を確保しており、必要な場合は生産体制を拡大することも可能である。」

　MEMSは、半導体チップの上に作られる機械装置で、半導体工場内の設備の活用が可能。高度に専門化された専用デバイスであり、加圧、温度調整、化学および振動センサ、反射板、スイッチの他、エアバッグ、自動車制御、ペースメーカー、ゲームなどのための加速度計などに使用されている。この技術はまた、インクジェットプリンタのヘッド、読み取り/書き込みヘッド用マイクロアクチュエータ、光ビームを反射する全光学スイッチなどにも使用されている。

　マイクレル社のウエハー製造部門では、半導体製造サービスを、特殊な機器または技術ニーズと互換性のある製品ソリューションを求めている商用および軍用IC設計者や全メーカーに提供している。マイクレル社の半導体工場では、短期や大量生産などの独自の要件に対応した柔軟な各種ウエハー製造および加工リソースを提供している。工場では環境マネジメントシステムの国際規格、ISO14001:1996の認定を取得している。この環境マネジメントシステムでは、規制への確実な対応や、ごみの削減やリサイクルを通じた環境への影響の低減を目指している。

画像データはこちらから入手可能。
http://www.micrel.com/press/hi-res_pr_photos/2011/Memsrev1.jpg

マイクレル・セミコンダクタについて

　マイクレル社はグローバルな半導体サプライヤーとして、アナログ、イーサネット、広帯域通信に使用されるICソリューションを世界市場に提供している。同社製品には最先端のミクスドシグナル製品、アナログ製品、パワー半導体、高性能通信用スイッチ、クロック管理スイッチ、イーサネット・スイッチおよびPHY製品がある。ユーザーにはエンタープライズ、民生、工業、モバイル、通信、自動車、コンピューター製品などの有力メーカーが含まれる。
　本社と最先端のウエハー製造設備は米国カリフォルニア州サンノゼにあり、米州、欧州、アジア全域に地域販売代理店とカスタマーサポートの拠点、先端テクノロジーのデザインセンターがある。さらにマイクレル社は世界に広範な流通販売網と代表事務所を保持している。
　詳しい情報はhttp://www.micrel.jp/から入手可能。

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