STマイクロエレクトロニクス 高い堅牢性と電磁環境耐性を実現するプラスチック・パッケージを使用したMEMSマイクロフォンを量産

~ MEMSトップ・サプライヤによる独自の特許取得済みパッケージング工程 ~

エレクトロニクス分野の多種多様なアプリケーションに半導体を提供する世界的
半導体メーカーで、コンスーマ･携帯型機器向けMEMS（Micro-Electro-Mechanical
Systems）の主要サプライヤ(1)であるSTマイクロエレクトロニクス（NYSE:STM、以下
ST）は、世界で初めてプラスチック・パッケージに実装したMEMSマイクロフォンの
量産体制を確立しました。特許技術の飛躍的な進展により、携帯電話・タブレットから
騒音計、ノイズキャンセリング・ヘッドフォンといったコンスーマ /プロフェッショナル
向け音声入力アプリケーションにおいて省スペース化ならびに耐久性向上を実現します。

現在、他社のMEMSマイクロフォンはメタル･リッドを採用していますが、STは
独自の革新的プラスチック・パッケージで業界をリードしています。STの新しい
マイクロフォン組立プロセスは、優れた電気・音響性能、卓越した機械的堅牢性、
および小型化を実現すると同時に、マイクロフォンのチップ・サイズを2 x 2 mmまで
縮小します。この技術開発は、デバイス小型化に向けた究極のステップとして、
マイクロフォンをシリコン空洞内に埋め込む方法を模索するものです。

STのMEMSマイクロフォンは、スペースに制約のある今日のコンスーマ機器の設計
を簡略化するフラットケーブル・プリント回路基板へ組み込むのに適しています。
STが特許を有するパッケージ技術により、機器メーカーは、音響孔をパッケージ
の上面または下面に配置できるため、可能な限りスリムな設計、および周辺環境
からマイクロフォンまでの最短の音響経路を実現することができます。音響孔を
上面に設けたトップポート・マイクロフォンは、ノートPCやタブレットの大きさ
とサウンド入力位置に適しており、下面に設けたボトムポート・マイクロフォン
は主に携帯電話に使用されます。

厳しい圧縮および落下試験の結果、プラスチック・パッケージに実装した
マイクロフォンは、従来の金属製パッケージに実装したマイクロフォンよりも、
耐久性が優れていることが証明されました。40N(2)の力を加えた場合（小型
チップへの4kg加重と等価）、金属製パッケージのマイクロフォンは破壊された
のに対し、プラスチック・パッケージに実装したSTのMEMSマイクロフォンは無事
でした。また、パッケージに15Nの静荷重を加えた状態で、両マイクロフォンを
1.5 mの高さから40回落下させた場合も、同様の結果が得られました。この
優れた堅牢性は、フラットケーブル・プリント回路基板ならびに従来の硬質
プリント回路基板設計の両方で得ることができます。

STのプラスチック・パッケージに実装されたMEMマイクロフォンは、妥協のない
電磁環境耐性を得るために内部遮蔽ケージと一体化されており、一般的な表面
実装組立装置や従来のピックアンドプレース装置に対応しています。

STのMEMSマイクロフォンは、携帯電話、ノートPC、タブレット、携帯メディア・
プレーヤ、ゲーム機、カメラ、ノイズキャンセリング・ヘッドフォン、さらには
補聴器まで、既存ならびに新しい市場セグメントの多種多様なオーディオ・
アプリケーションに適しています。これらのMEMSマイクロフォンは、STのマルチ
マイクロフォン・アプリケーション向けデジタル・オーディオ・マイク
プロセッサやSound Terminal(TM)オーディオ処理チップと理想的に組み合わされ、
先進的な音声入力アプリケーションに必要なあらゆる機能を提供します。

STのMEMSマイクロフォンの詳細については、
http://www.st.com/jp/analog/subclass/1564.jsp をご覧ください。

(1)IHS iSuppli社: H2 2011 Consumer and Mobile MEMS Market Tracker、2012年2月
(2)N:ニュートンは力のSI単位で、1kgの質量に1m/s2の加速度を生じさせる力と等価

STマイクロエレクトロニクスについて
STは、Sense & Powerおよびマルチメディア・コンバージェンス分野の多種多様
なアプリケーションに半導体を提供する世界的な総合半導体メーカーです。
エネルギー管理・省電力からデータ・セキュリティ、医療・ヘルスケアから
スマート・コンスーマ機器まで、そして、家庭、自動車、オフィスおよび仕事や
遊びの中など、人々の暮らしのあらゆるシーンにおいてSTの技術が活躍して
います。STは、よりスマートな生活に向けた技術革新を通し、「life.augmented」
の実現に取り組んでいます。2011年の売上は97.3億ドルでした。さらに詳しい
情報はSTのウェブサイト（ http://www.st-japan.co.jp ）をご覧ください。

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